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江南-精准识别,智能传输,弥费科技AMHS传感控制设备解决方案

发布日期:2024-09-13 作者:江南

[导读]跟着进步前辈制程手艺的不竭演进,高效的主动物料搬运系统已成为现代半导体系体例造的不成或缺的一部门,而半导体系体例造对出产效力和精度的要求不竭晋升,使智能信息化成为AMHS出产进程平安、高效治理的要害。 跟着进步前辈制程手艺的不竭演进,高效的主动物料搬运系统已成为现代半导体系体例造的不成或缺的一部门,而半导体系体例造对出产效力和精度的要求不竭晋升,使智能信息化成为AMHS出产进程平安、高效治理的要害。 作为中国领先的半导体系体例造AMHS(主动化物料搬运系统)整体解决方案供给商,弥费科技聚焦AMHS智能制造,以合适半导体行业尺度的工业辨认产江南体育物为信息载体,自立研发了系传记感节制装备,为AMHS天车系统、存储装备、半导体机台装备等出产进程信息化供给一整套利用解决方案。 此次发布的三款传感节制装备,均以非接触式主动辨认手艺实现对半导体传输物料的精准辨认与数据读取。 RFID Reader系统由标签、读写器和天线构成,经常使用在在半导体系体例造进程中对晶圆盒上的射频标签进行数据读写操作。机台装备可以经由过程读写射频标签上保留记实的ID、制造批次、制造进程申明等信息,实现晶圆出产进程的追踪和节制,提高出产效力和产物质量。弥费科技自研的RFID Reader 合适SEMI半导体尺度,兼容TI公司的CID载体,读取距离最年夜可到达90mm。 RFID Reader在12吋晶圆传送装备Foup Stocker中的通讯利用 SmartTag Reader则基在红外手艺实现对标签信息的读取,并经由过程红外旌旗灯号向操作员和主动化物料传送系统(AMHS)供给进程和状况信息。弥费科技自研的SmartTag Reader合适SEMI半导体尺度,利用RS485通讯接口,最年夜工作距离达7cm。 SmartTag Reader在8吋晶圆传送装备Pod Stocker中的通讯利用 E84传感器则是基在SEMI E84和谈的工作道理,采取IR手艺实现出产装备与AMHS之间的高效、靠得住晶圆载体主动互换。E84 Sensor不但提高了晶圆在转移进程中的平安性和正确性,还经由过程加强SEMI E23中界说的并行I/O接口能力,撑持了更高程度的传输靠得住性和效力。 E84在天车OHT与晶圆传送装备Foup Stocker中的通讯利用 辨认节制系统作为AMHS传输与通信的焦点零部件装备,产物的自立可控性对与半导体行业相当主要。弥费科技基在在半导体AMHS整体解决方案范畴的手艺和市场优势,专注在开辟可以或许晋升AMHS出产效力与精度的产物。此次发布的AMHS辨认节制系统装备不但在要害手艺指标上到达国际进步前辈程度,完全自立的常识产权对客户来讲,意味着加倍靠得住和不变的供给链保障,有助在下降运营本钱和风险,保障出产的持续性和不变性,加强市场竞争力。 对AMHS焦点零部件范畴的深耕,弥费科技不但可以或许更好地知足客户需求,同时进一步优化了供给链本钱和质量,晋升了AMHS整体解决方案的竞争力,加快其全球化结构。延续的立异和迭代能力也使弥费科技术够紧跟行业成长趋向,快速响应市场转变,弥费科技致力在成为全球半导体AMHS范畴的领军企业,鞭策半导体系体例造行业向加倍智能、高效的标的目的成长。

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