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江南-汉威科技新品发布!护航半导体产业电子气体安全

发布日期:2024-10-04 作者:江南

[导读]跟着AI、人形机械人等行业的爆发式成长,半导体财产迎来巨量增加空间,估计2030年其市场范围将冲破1万亿美元年夜关。汉威科技团体推出的半导体工场气体检测仪GD-HS10,是一款专门用在检测半导体工场中可燃、有毒、有害气体泄露的高端产物,具有高活络度、高靠得住性、低浓度检测等特点,可检测氨气、砷化氢、氯气、硅烷等上百种气体,合用在半导体、液晶面板、光伏和电池制造等行业。 跟着AI、人形机械人等行业的爆发式成长,半导体财产迎来巨量增加空间,估计2030年其市场范围将冲破1万亿美元年夜关。 半导体财产是以硅、锗、氮化镓等半导体材料为根本的计谋性支柱财产,也是典型的手艺密集、资金密集型财产。其制造工艺复杂,涵盖硅片制造、芯片设计、光罩建造、芯片制造、封装测试等环节的上千道工序,下流触及集成电路、显示面板、医疗健康、消费电子、照明、通讯、光伏、新能源汽车等浩繁利用范畴。 因为半导体晶圆制程的不竭成长,线宽愈来愈窄,对出产工艺的要求也愈来愈高,这些身分都对半导体晶圆工场各个系统的延续无故障运行能力和所供给给出产工艺制程相干的原料的品质提出了更高的要求。 在半导体出产制造进程中,电子气体是仅次在硅片的第二年夜制造材料,品类多达上百种,被誉为“芯片血液”。电子气体包罗电子年夜宗气体和电子特种气体两年夜类,此中电子年夜宗气体是出产制造进程中的情况气、庇护气和载体,而电子特种气体首要利用在光刻、刻蚀、成膜、清洗、搀杂、沉积等芯片制造工艺当中。与此同时,在半导体出产制造进程中,还可能发生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般尾气等气体。 电子气体与废气多为易燃易爆、有毒有害、侵蚀性、梗塞性气体,而半导体系体例造车间多为无尘密闭情况,且配备回风系统,一旦产生危险气体泄露,哪怕长短常细小的泄露,也可能引发爆炸、人员梗塞或中毒变乱。是以,用气平安问题不容轻忽,必需进行气体检测。《特种气系统统工程手艺尺度》(GB50646-2020)中有强迫性划定,贮存、输送、利用特种气体的以下区域或场合应设置特种气体探测装配: ①自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、侵蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处; ②出产工艺装备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、侵蚀性气体阀门箱的排风管口处,工艺装备的排风管口处; ③出产工艺装备的特种气体的废气处置装配排风出管口处; ④惰性气体间可能发生梗塞的区域; ⑤自燃性、易燃江南体育性、剧毒性、毒性、侵蚀性气体装备间; ⑥其他可能产生泄露的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、侵蚀性气体的情况。 另外,该尺度还对报警设定值、响应时候、安装位置等进行了相干划定。 汉威科技团体推出的半导体工场气体检测仪GD-HS10,是一款专门用在检测半导体工场中可燃、有毒、有害气体泄露的高端产物,具有高活络度、高靠得住性、低浓度检测等特点,可检测氨气、砷化氢、氯气、硅烷等上百种气体,合用在半导体、液晶面板、光伏和电池制造等行业。据悉今朝该产物已成功利用在多家半导体行业制造工场,并取得用户的一致承认。 高精度细小泄露检测。每种气体都有对应的温度抵偿和融会算法,零点主动校准,可实现精准细小泄露检测,机能达行业领先程度。 撑持上百种气体。撑持电化学、催化燃烧、光学等多种道理传感器,撑持上百种气体,可知足客户个性化检测需求。 电磁泵吸设计。采取电磁泵吸道理吸气,磨损小,寿命长,流量恒定,30米超上进气管,快插接头设计,安装便捷。 点阵式LCD年夜屏显示。界面美不雅易读,气体名称、浓度、报警环境等一目了然,合适国内用户习惯。后摩尔时期,半导体行业的出产工艺难度不竭加年夜,出产制造本钱不竭升高,电子特种气体的本钱占比高达13%,部门高端进口吻体价钱很是昂贵,每千克价钱可达数万元,气体泄露不但会造成财富损掉,还可能造成工伤变乱。在此布景下,半导体工场气体检测仪将成为刚需产物,并在半导体企业平安出产和降本增效进程中阐扬主要感化。 欲知详情,请下载word文档 下载文档

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6月25日,HKCERT公布全新“中国香港收集平安变乱调和中间”并进行启动仪式,新名称更能彰显HKCERT的办事主旨和规模,借以晋升中国香港各界,特殊是中小企和市平易近对HKCERT的熟悉。

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